无尘净化间,津南净化间,美清净化 查看

安装与使用

1. 装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，无尘净化间，质量稳定，净化间实验室，供货迅速；

2. 机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，津南净化间，也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便；

3. 需要辅助建筑面积较小，对土建筑装修要求低；

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复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部**洁净之空气。

⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。